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在线式钙钛矿激光刻蚀P1设备
型号:JKA167
产品特点
实现在玻璃幕板表谊刻蚀P1; 设备配置1套激光图和1套DOE组件。由DOE组件进行分光,单个DOE组件可分成8路激光; 激光剑蚀方式:激光由镀层入射刻性。
规格参数
姚工尺寸 1.2M"0.65N
进释方式 在线式白动上下料
承光入射医 被威消
划线方向 上下科平台Y轴运动方向(基板长达方向)
最小划坛商度 P1s≤30um;
冥蝮死区宽庹 ≤150um
划线风距 6.9mm(可澳5-8mm}
最大划找速度 1.5 m/s(以实祭工艺效果为准)
P]直线庭 ≤10um(第1条与第9条平行围)
作深 烤深士0.2mm;
傅距 F-400土20mm
工艺时问 ≤30:/片(含上下料,以划线100条计算)
光袤数量 8光束(设备配置1套油光都,邀光额分8光束)
光秉阎距公差范围 ≤20um
静量均勾性 ≤3%
电机曳型 XY轴直线电机
X门轴定位精度 ≤6um
XAY轴雷复定位精度 ≤4m
苏光目配置 皮物 释光(特定,复合工艺需求》
董光功率 (特定,复合工艺魔求)
岐长 532nm
脉冲重氲经军 单际冲-5Mz
肺冲充度 <500fs,typ=300fs
脉冲隐定性 <19 RNS
空问模式 水平线编招,PER>20 c3
激光器寿命 100004h时寸
0CD提进个监 1个
CCD视觉像素 500万
工业吸尘器 晨杭环保CH-LT-3000m³h
冷水机 特域 CWUP-20AI(制冷量:1.7KW;水箱容量:6L;水泵最大扬程:25M;水泵最大流量:15L/min;控温精度士0.1°C)
控制系统 在线式自动上下料
传送线离地高度 平台离地高度950mm
应用范围
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