姚工尺寸 | 1.2M"0.65N |
进释方式 | 在线式白动上下料 |
承光入射医 | 被威消 |
划线方向 | 上下科平台Y轴运动方向(基板长达方向) |
最小划坛商度 | P1s≤30um; |
冥蝮死区宽庹 | ≤150um |
划线风距 | 6.9mm(可澳5-8mm} |
最大划找速度 | 1.5 m/s(以实祭工艺效果为准) |
P]直线庭 | ≤10um(第1条与第9条平行围) |
作深 | 烤深士0.2mm; |
傅距 | F-400土20mm |
工艺时问 | ≤30:/片(含上下料,以划线100条计算) |
光袤数量 | 8光束(设备配置1套油光都,邀光额分8光束) |
光秉阎距公差范围 | ≤20um |
静量均勾性 | ≤3% |
电机曳型 | XY轴直线电机 |
X门轴定位精度 | ≤6um |
XAY轴雷复定位精度 | ≤4m |
苏光目配置 | 皮物 释光(特定,复合工艺需求》 |
董光功率 | (特定,复合工艺魔求) |
岐长 | 532nm |
脉冲重氲经军 | 单际冲-5Mz |
肺冲充度 | <500fs,typ=300fs |
脉冲隐定性 | <19 RNS |
空问模式 | 水平线编招,PER>20 c3 |
激光器寿命 | 100004h时寸 |
0CD提进个监 | 1个 |
CCD视觉像素 | 500万 |
工业吸尘器 | 晨杭环保CH-LT-3000m³h |
冷水机 | 特域 CWUP-20AI(制冷量:1.7KW;水箱容量:6L;水泵最大扬程:25M;水泵最大流量:15L/min;控温精度士0.1°C) |
控制系统 | 在线式自动上下料 |
传送线离地高度 | 平台离地高度950mm |