涂布有效宽度 | <650mm |
进料方式 | 在线式自动上下料 |
基材截片平台 | 含真空吸附功能,孔径1mm,平台平面度:3-4ur |
材料粘度 | 0.7-1000cpS |
涂层厚度 | (千厚) 20-700nm或更大范围(根据溶剂而定) |
涂布头精度 | 日本进口不锈钢材质,刀口/工作面直线度名土1pm/0.1m |
涂布头内槽容量 | 不高于25ml |
上料泵速度范围 | 0.1-500μl/5,注液精度优于0.1uL |
风刀部件 | 有效宽度700mm,角度/高度可调,最大载荷0.8MPa |
效率 | 80-86s/pcs(基板尺寸:650X1200mm) |
涂布头观察部件 | 观察涂布头出液情况,配备双红外监测,监测涂布头两与基片距离。 |
操作系统 | PC |
操作权限 | 按权限等级要求设计权限管理 |
机台尺寸 | 长*宽*高(mm)=5100*2300*2540 |
机台重量 | 9T |
机台电源要求 | 机台:AC220V50/60HZ |
机台气源要求 | 0.5-0.7MPa |
整机功耗 | 机趌煲傷煬置鑫有唾侭蠙劢腾穜ó:6KW |
工控机和显示器 | 工控机:CPU酷睿I7-7700及以上内存:8G及以上 /显示器:戴尔 |
控制系统 | 在线式自动上下料 |
传送线离地高度 | 平台离地高度950mm |
过滤等级 | 过滤效率99.9% |
滤简材质 | 防阻燃 |
进出料方向 | 窄边方向朝前 |