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狭缝涂布机(修饰)
型号:ZNYZ2023019-11-02-(JKA197)
产品特点
设备大板采用大理石为主体,整机包含3套基板传送机构,1套基板归正机构,1套涂布系统,1套XZ运动平台,1套监视相机机构,1套运动控制系统,1套涂布头清洁系统和一套预涂布机构等等;
基板传送至入料输送机构,涂布位输送机枸接基板,将基板传送至涂布平台上,归正基板,输送机构下降,准备好的涂布头,开始涂布;涂布完成后,输送机构上升,送出涂布后的基板到下料接驳输送机构,基板流出,进入下一工位。
规格参数
涂布有效宽度 <650mm
进料方式 在线式自动上下料
基材截片平台 含真空吸附功能,孔径1mm,平台平面度:3-4ur
材料粘度 0.7-1000cpS
涂层厚度 (千厚) 20-700nm或更大范围(根据溶剂而定)
涂布头精度 日本进口不锈钢材质,刀口/工作面直线度名土1pm/0.1m
涂布头内槽容量 不高于25ml
上料泵速度范围 0.1-500μl/5,注液精度优于0.1uL
风刀部件 有效宽度700mm,角度/高度可调,最大载荷0.8MPa
效率 80-86s/pcs(基板尺寸:650X1200mm)
涂布头观察部件 观察涂布头出液情况,配备双红外监测,监测涂布头两与基片距离。
操作系统 PC
操作权限 按权限等级要求设计权限管理
机台尺寸 长*宽*高(mm)=5100*2300*2540
机台重量 9T
机台电源要求 机台:AC220V50/60HZ
机台气源要求 0.5-0.7MPa
整机功耗 机趌煲傷煬置鑫有唾侭蠙劢腾穜ó:6KW
工控机和显示器 工控机:CPU酷睿I7-7700及以上内存:8G及以上 /显示器:戴尔
控制系统 在线式自动上下料
传送线离地高度 平台离地高度950mm
过滤等级 过滤效率99.9%
滤简材质 防阻燃
进出料方向 窄边方向朝前
应用范围
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